品 名 ：HIVAC-F5
化 学 名 ：苯甲基有机硅油
技术参数：
外 观：无色透明液体 粘度25℃mm2/s*：160 比重25℃：1.097 挥发部分150/24h(%)：B.P240℃/5mmHg 粘度温度系数 V．T．C：0.88 折射率25℃：1.575 流动点℃：-15以下
HIVAC F-5 一种无色，低分子量的苯甲基硅油，是专用于高真空和超高真空的扩散泵油。具有优异的耐氧化性、热稳定性、耐化学药品性，不会出现类似石油类泵用油或脂肪酸酯类泵用油因为加热以及气体吸附所造成的热裂解现象。也不会因为加热而发生氧化，生成酸、焦油、沥青类的物质。
因此，HIVAC F-5 即使长期使用也能保证真空泵的稳定运行。HIVAC F-5 的真空度达到10 ～10 Torr,使用液氮凝气阀，能够获得10-12Torr的超真空。