产品简介
UPP/SAS03型蓝宝石基片CMP浆料是江苏天恒纳米科技股份有限公司生产的新一代水溶性高纯度胶体浆料，主要用于蓝宝石高质量平整化加工，尤其适用于粗抛。加工速率高，表面平整度、粗糙度达到国际先进水平，适用于各种加工方式，具有加工效率高、使用寿命长的特点，且光洁度高，悬浮性强，易清洗。
主要特点
UPP/SAS03型蓝宝石基片CMP浆料用特选的纳米SiO2水溶胶作为磨料，通过大粒径硅溶胶的磨料作用和强化学作用，增加蓝宝石抛光速率，配合络合剂增强抛光液的平化作用，改进抛光液的流体力学性能，增强表面光洁度，降低其表面粗糙度，该产品抛光效率高，稳定性强，后续工艺易于清洗，节约生产成本和提高产品合格率。
主要用途
主要用于蓝宝石基片的高质量平整化加工。