纽瑞德特气供应三氟甲烷(www.)
名称/化学式：三氟甲烷/CHF3
包装规格：44L、16L
纯度(%)及杂质(ppm)：99.995% 99.999%
其它参数：
化学式 CHF3
摩尔质量 70.01 g·mol⁻¹
外观 无色气体
熔点 -155.2 °C (117.95 K)
沸点 -82.1 °C (191.05 K)
溶解性（水） 1 g/l, 20 °C
溶解性（有机溶剂） 可溶
蒸气压 4.38 MPa at 20 °C
kH 0.013 mol.kg-1.bar-1
pKa 25 - 28
产品用途：
在半导体产业中，三氟甲烷用在二氧化硅及氮化硅的等离子蚀刻（plasma etching）中。三氟甲烷也是一种制冷剂（冷媒），名称为R-23或HFC-23，因为其不含氯，不会造成臭氧层破洞，有时会用来会取代造成臭氧层破洞的三氟氯甲烷（cfc-13）。三氟甲烷因为其低毒性、不容易反应及高密度，可用作灭火剂使用。此时常使用杜邦的商标名称FE-13代表三氟甲烷。三氟甲烷过去曾用来取代气体灭火系统中的海龙1301（cfc-13b1）。
安全注意事项：
急性毒性：大鼠吸入20%×2小时，存活；豚鼠吸入50～80%(充氧环境连续吸入)，存活
危险特性：不燃。受热分解释出剧毒的烟雾。
燃烧(分解)产物：氟化氢。
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