该系列仪器是为实验室使用而设计的台式精密旋涂系统，它们能够准确地适用于各种液体材料，平面基板。
薄膜厚度范围从1000Å到100μm，该指标取决于旋涂材料的粘度，转速和涂层时间。
适用于光致抗蚀剂，聚酰亚胺，金属有机化合物，掺杂剂，硅薄膜和有机溶剂。
紧凑的单元组合可能够通过可编程逻辑控制器储存和执行操作员可选的旋涂程序。
加速/减速率可由选定的时间和转速值自动计算生成。
旋涂功能可通过仪器正面的键盘和显示器进行编程和操控。
技术参数
基材尺寸 Piece ～ 4”
旋涂状态 2 步
旋涂速度 最大 7000 转 / 分
马达控制 直流伺服电机
样品腔 8” 阳极氧化铝
泵 无油真空泵