又名无尘室丶洁净室。无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
GBJ73-84规定的洁净度等级
等级 每立方米（升）空气中》0.5μm尘粒数 每立方米（升）空气中》5μm尘粒数
100 《35*100（〈3.5〉
1000 《35*1000（〈35〉 《250（〈0.25〉
10000 《35*10000（〈350〉 《2500（〈2.5〉
100000 《35*100000（〈3500〉 《25000（〈25〉
清洁要求
（1）、清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布；
（2）、用90％去离子水和10％的异丙醇配置清洁剂；
（3）、使用已获批准的洁净室专用去污剂；
（4）、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
（5）、每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
（6）、清洁洁净室的地面应使用专用拖把。
（7）、在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。
（8）、所有的门都需要检查并擦干
（9）、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
（10）、架空地板下也要吸尘及擦拭。
(11)、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
（12）、工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门最远的地方向门的方向擦。