快速反射镜

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2015-05-14 13:27:00
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产品信息

快速反射镜

所属类别: » 应用解决方案 » 激光稳定系统(光束指向/频率/功率)

所属品牌:德国TEM Messtechnik GmbH公司



产品简介





微步进电机与PZT压电陶瓷驱动的超大扫描角度的复合轴快速反射镜。











德国TEM开发的快速反射镜是采用微步进电机与PZT压电陶瓷相结合的复合驱动结构,不仅拥有电机驱动的大量程的特点,又集成了PZT压电陶瓷驱动的高速高分辨率的特点,极大拓展了快速反射镜的适用范围与使用寿命。





关键词:快速反射镜,快速控制反射镜,FSM,快速倾斜镜,快速倾斜反射镜,PZT驱动快速控制反射镜,压电陶瓷驱动快速反射镜





快速反射镜











德国TEM开发的快速反射镜是采用微步进电机与PZT压电陶瓷相结合的复合驱动结构,不仅拥有电机驱动的大量程的特点,又集成了PZT压电陶瓷驱动的高速高分辨率的特点,极大拓展了快速反射镜的适用范围与使用寿命。







产品特点:



Ø 反馈精度: < 1 μm, < 1 μrad (最低可达 10-100 nm)



Ø 超大扫描范围: > 18°



Ø 高速度:伺服频宽超过5 kHz



Ø PZT驱动制动器和机械装置多种组合



Ø 全计算机控制 (USB, 串口, 局域网) ,完全独立操作







快速反射镜类别:



Aligna 60/40:微步进电机快速反射镜基座60x60 mm/40x40 mm



Ø 两个极微等步细分线制动器



Ø 手动调节滚花旋钮



Ø 双轴引用光编码器



Ø 多种反射镜或其他组件安装方式



(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)







Aligna MoPiA 60/40:微步进电机+PZT驱动快速反射镜基座60x60 mm/40x40 mm



Ø 两个极微等步细分线制动器



Ø 手动调节滚花旋钮



Ø PZT压电扫描器



Ø 双轴引用光编码器



Ø 多种反射镜或其他组件安装方式



(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)







部分应用客户:











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