热解氮化硼坩埚

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上海禹王精密陶瓷有限公司
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发布时间
2009-03-03 12:03:00
产品详情
上海禹王精密陶瓷有限公司是山东禹王集团旗下的高新技术企业。是集化学气相沉积技术的研究、开发、生产为一体的工业实体,拥有国内先进的技术、设备和高水平的研发团队。

● 主要产品:

  ● 热解氮化硼壳体及涂层

  ● 热解石墨涂层

  ● 碳化硅涂层石墨体

产品概述

热解氮化硼(PBN)是特种陶瓷材料,是本公司在特殊设备上用化学气相沉积的工艺制得的。热解氮化硼的沉积过程,宛如“落雪”:氮化硼的六角型小雪片,一片一片的平行地落在石墨基体材料上,达到一定厚度后,最终冷却脱模而制成。



■规格:

类 型 类 别 最 大 尺 寸

坩埚类 LEC 8 inch

VGF 8 inch

MBE 8 inch

异形坩埚

板材类 圆形板材 8 inch

长舟 8 inch

绝缘板(MOCVD) 8 inch



涂层类 蒸发舟

石墨加热器

PBN/PG复合加热器



■主要特点:

 材料呈白色,无毒、无孔隙、易加工。

 纯度高达99.99%,表面致密,气密性好。

 耐高温,强度随温度升高,2200℃达到最大值。

 耐酸、碱、盐及有机试剂,高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应。

 抗热震性好,热导性好,热膨胀系数低。

 电阻高,介电强度高,介电常数小,磁损耗角正切低,并具有良好的透微波和红外线性能。

 在力学、热学、电学等等性能上有着明显的各向异性。



■产品应用

 半导体单晶及III-V族化合物合成用的坩埚、基座:

原位合成GaAs 、InP 、GaP单晶的LEC系列坩埚。

分子束外延用的MBE系列坩埚。

VGF、VB法系列坩埚。

 PBN/PG复合加热器涂层。

 石墨加热器绝缘涂层。

 高温绝缘流体喷嘴。

 MOCVD绝缘板。

 异形坩埚及异形石墨件涂层。

 晶片退火工艺用复合加热器。

上海禹王精密陶瓷有限公司

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周 伟(先生)
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