1 基体材料 高纯光学级蓝宝石单晶
2 基体尺寸 直径 2.70~50.80 mm 公差+/-0.002 厚度 0.50mm+/-0.002mm
3 晶向 表面晶向 C-axis(0001)
M轴差角 M-axis (1-100) 0.2° ± 0.1°
A轴差角 N/A
4 主定位边 方向 A-axis (11-20 )
方向差角 0 ± 0.2°
定位边长 16 mm ± 1.0 mm
5 正晶面 Ra < 0.3 (nm), Epi-ready polished
6 背晶面 Fine ground, Ra 0.8 m
7 品质 晶片厚度变异 10 m
弯曲度 10 m
绕曲度 10 m