台湾进口星型圈

低温特性较差

· 原料价格较高

· 生产难度较高

适用范围:

· 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。

硅氟橡胶

氟橡胶（FKM，FPM）分子式

（一） 分子结构

CF3

—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) A—Type

CF3

—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 ) B—Type/ F —Type