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山武的边缘传感器
azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器,azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器,azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器
概要PBZ激光传感器采用平行激光束和一个CMOS线性图像传感器专长检测薄膜、晶圆或玻璃基板的边缘位置。
FDN算法
高精度的边缘检测*1
针对检测面污垢会影响检测精度的课题，配置了线性图像传感器和光量衰减报警功能。
透明物体检测用算法
可稳定检测透明物体。
标准双通道输入控制器
可进行双检测值运算，减少布线工作量，节省空间。
RS-485通信(仅对应PBC-201VN2/PBC-203VN2) 可将数据传输至PLC及触摸界面。
安全性能
JIS 1级光束。不需要任何特别保护措施。
多功能
可忽略薄膜不规则部分的干扰消除功能*2
玻璃基板对准时倾斜度θ计算功能*3
通过位置变化检测功能可检测出玻璃基板上的缺口和裂痕*3
*1. 重复精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. 仅限于 PBC-201VN0/2
*3. 仅限于 PBC-203VN2
PBZ-CL007V
PBC-201VN0
PBC-201VN2
PBZ-ECL008V
PBC-211VN2