太阳能电池片扩散炉

太阳能电池片扩散炉



太阳能电池片扩散炉

太阳能电池片扩散炉具有四套独立的工艺炉管。供太阳能电池片生产线上156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。

主要特点： 1.关键件全部采用进口件，具有高可靠性。 2. 采用进口智能控制器，可输出四个开关量，对炉温、阀门动作 进行自动控制，并管理全部工艺时序，可编辑存贮十条工艺曲 线。具有高抗干扰能力。 3. 具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。 4. 具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。 5. 控温精度好，温区控温稳定性好。 6. 新型炉体设计结构，保证工艺过程中温区温度的快速稳定，更 适合于连续性大规模生产。 7.闭管式扩散系统更洁净、更环保。

太阳能电池片扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式

1闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，偏磷酸、CL2分开收集处理；工艺废气集中收集从尾部定向排出；各种工艺气体可分开送入石英管内，工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量完全受保护。2自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外进口，可在达到±0.25℃的控制精度。3送取片方式：悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉机构受腐蚀，影响推拉机构的精确性。