多晶硅高温扩散炉|太阳能电池片扩散炉

多晶硅高温扩散炉|太阳能电池片扩散炉



多晶硅高温扩散炉

多晶硅高温扩散炉技术规格和技术性能根据贵公司的工艺要求，我公司技术人员特制订扩散炉、氧化炉、退火炉设计方案。具体方案见下述。

1、多晶硅高温扩散炉额定功率: 35KW，升温功率：30KW保温功率15:KW2、多晶硅高温扩散炉电源电压: 380V3、多晶硅高温扩散炉加热器电压: 0～100V（三相）4、多晶硅高温扩散炉加热方式： 铁铬铝丝管型加热器三段控温加热5、额定温度: 1200℃

6、升温速率：15℃/min7、工作室尺寸: Φ220×600mm8、温度均匀性和控温精度：±1℃（特殊要求±0.5℃）9、恒温区长度：大于等于600mm（或按用户要求）

10、多晶硅高温扩散炉温控系统具有超温报警和断偶保护功能

11、多晶硅高温扩散炉温控：9段81条曲线，可由仪表单独调用，亦可通过PLC或工控机来调用，操控简便，可模拟工况温度显示过程曲线和当前状态

12、多晶硅高温扩散炉质量流量控制：由质量流量计和PLC触摸屏组成的质量流量控制系统，操作简单，控制精度高达±2﹪，可根据温度（或时间）设置阀门的开启和关闭。

13、多晶硅高温扩散炉推拉舟控制系统：（半导体生产特制此功能）由直线导轨和步进伺服控制电机组成的推拉舟执行机构在由PLC触摸屏（或PC工控机）控制下推舟准确度±1mm,且运行平稳无抖动现象。