工业废水处理用VPSA制氧机的原理；
采用优质沸石分子筛吸附氮气，未被吸附的态的吸附塔临近饱和之前，该塔自动减压解吸再生，而另一只吸附塔开始加压吸附制取氧气。两只吸附塔交替工作，完成制氧的工艺过程。吸附塔解吸再生时，采用负压，谓之VPSA。 空气分离的主要三个步骤： 净化：环境空气在进入一个鼓风机系统（无油鼓风机）前将会被净化以除去粉尘。 加压吸附真空解吸(简称VPSA)制氧设备，即穿透大气压 的条件下，利用VPSA专用分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，在抽真空的条件下对分子筛进行解吸，从而循环制得纯度较高的氧气(90~95%)。
工业废水处理用VPSA制氧机
1、 能耗比较低。产氧量越大，能耗也降低。
2、 维护成本低，动力设备为罗茨鼓风机和罗茨真空泵，因其工作原理都为容积式，无油，极易维护。
3、 整套设备的自动化程度高，动力设备与制氧机是同步控制，只需按一下启动按钮，整套设备即可正常运行。
4、适合于中大型产量。