抛光剂中的脂肪酸在高温下起化学反应，从工件金属表面熔析出金属皂，形成一层薄膜，金属皂是一种易 于被除去的化合物，起化学洗涤作用，由于磨擦及塑性流动的作用，工件被抛光后，也产生轻微的表变质层，此 外，加工环境中的尘埃、异物的混入，对抛光表面也产生机械作用，对被抛光的表面产生划痕，造成抛光缺陷。
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