手动硅料腐蚀机

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苏州华林科纳半导体设备技术有限公司
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2010-04-30 08:54:00
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华林科纳-CSE 1)主要用于太阳能片生产中硅料的清洗、腐蚀。2)工艺流程:喷淋+龙头→碱液加热→QDR+氮气鼓泡→盐酸→QDR+氮气鼓泡3)本设备采取手动控制,其工艺时间可以自行调节,全自动硅片腐蚀机设备简介:适用于2″~8″硅片的腐蚀1.概述:本设备为柜体式腐蚀机,整台设备均采用进口件。2.基本材质:箱体材质:德国磁白色聚丙烯(PP);门板材质:德国透明聚氯乙烯(PVC);腐蚀槽材质:德国自然色聚偏二氟乙烯(PVDF);清洗槽材质:德国自然色聚丙烯板(NPP);3.本设备的腐蚀槽和清洗槽间的转换由进口SEW驱动,以迅速实现两槽之间的硅片转换。4.腐蚀槽配有美国聚四氟乙烯加热器、虹吸上排、传感器。5.清洗槽配有溢流装置,和N2鼓泡装置。6.整机外型美观、实用。

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