华林科纳—CSE 液晶玻璃Pi COAT前清洗设备通过清洗、喷淋、风刀等过程洗净液晶玻璃基板，并通过IR、UV去除水分，从而提高基板表面的浸润性，冷却基板温度通过后续的TBL进入COAT设备。全程工艺采用PLC控制，触摸屏操作。槽体结构功能可实现腐蚀或后残留在片子上的化学液及污染颗粒的冲洗祛除功能。它由安装在槽体底部的快排阀、DI注入孔（包括氮气鼓泡）及顶部左右两侧的DI喷嘴实现槽体的快速注入与排放。快排冲洗槽（QDR）的工作过程由独立K200型专用控制器保证。它包括工艺时间、冲洗次数设置、工作完成提示以及过程中的故障报警、状态提示等功能。主要处理对象为STN液晶玻璃板，基板传送方向是从左到右，或从右到左，传送高度为从地面至基板下面为900mm，采用水平枚叶式传送方式，传送滚轮间距基本为80mm，标准17秒/块标准传送速度约2.1m/分钟的处理时间，启动后需约60分钟的启动准备时间。设备框架采用德国进口工程塑料板材雕刻后焊接组合加工而成，结构设计合理，外型美观，性能稳定可靠，广泛应用于TFT-LCD液晶行业。非标规格，具体规格根据客户工艺要求确定。设备品牌：华林科纳—CSE 制造厂商：苏州华林科纳半导体设备技术有限公司.