隧道炉

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青岛福盟微电子设备有限公司
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发布时间
2010-06-04 17:07:00
产品详情
设备用途: 用于半导体器件烧结、焊接、烘干、管壳气密封装等。 链(带)式烧结炉特点 本设备为气氛保护炉,保护气氛为氢气、氮气、氩气等。 设备具有连续工作性,保证生产效率。 独特的气幕帘结合,确保炉膛与空气隔绝。 多温区控制炉温,方便调整工艺曲线。 链带速度无级连续可调。 根据用户要求可配加湿器链(带)式烧结炉主要技术指标 带宽 90~350mm 炉膛高度 100~200mm 炉膛宽度 100~370mm 冷却段长 1000~6000mm 温度范围 300~1050℃ 等温区长 600~1500mm 控制精度 ±2℃ 控制段数 4~10段 带速 20~500mm/min 升温时间 90~240min 升温功率 20~120KVA 保护气体 3~5路氮气0~100L/min 1路氢气0~80L/min

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