波长172nm准分子灯应用领域:
波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2 eV,足以打开大多数分子键,强紫外输出可使光化学反应比传统低压汞灯快10倍,可广泛应用于:
□表面清洗并激活分子键。可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程;
□光化学气相沉积(Photo-CVD),如电子薄膜Ta2O5和HfO2等;
□表面改性以改善化学结构。如对电子薄膜SiO2进行处理以改善其化学计量性;
□表面活化,以增加表面张力和湿润性;
□有机降解。除总有机碳(TOC),分解农药残留,印染废水脱色;
□无氮氧化物高纯臭氧发生器。
波长222nm准分子灯应用领域:
□病毒,细菌,微生物去活化。用于城市生活污水处理,蓝藻藻毒素降解和空气净化等领域的杀菌消毒;
□光化学反应。用于制备电子薄膜和合成纳米材料;
□纺织物表面改性。用于增加织物表面的透气性和吸湿性;
□光解双氧水,产生强氧化性的OH自由基。
□印刷过程中的冷UV印刷光干燥固化。尤其适合于热敏材料纸张和薄膜上的印刷;
波长308nm准分子灯应用领域:
□印刷过程中的冷UV印刷光干燥固化;
□高分子材料加工,治疗牛皮癣银屑病等。
有为光子技术团队曾长期在国外从事目前国际上最先进的激发态准分子光源的研究和应用开发,对该技术在微电子、医学、材料科学等高端应用领域
以及环境保护水处理等领域有着丰富的知识和经验。