Ref：1132N Ref：1133N Ref：1137
移动速度 50-500mm/ssc 50-500mm/s 50-500mm/s
移动速度精度 10mm/ssc 10mm/s 10mm/s
显示分辨率 10mm/ssc 10mm/s 10mm/s
行程长度（最大） 350mm 350mm 240mm
试板尺寸（最大） 420×300mm 420×300m 250×195mm
试板类型 带夹子玻璃板 真空板 带夹子橡皮垫
涂膜棒 直径 10mm-13mm 10mm-13mm 10mm-13mm
长度 320mm（有效） 320mm（有效） 180mm