热等静压粉末冶金溅射金属靶材

粉末合金溅射金属靶材



热等静压粉末冶金工艺的优点在于解决熔融铸造法无法实现的难熔金属溅射靶材的制作。

粉末冶金工艺还具有容易获得均匀细晶结构、节约原材料、生产效率高等优点，目前已成为溅射靶材的主要制备方法。



德国萨阿粉末合金公司制备靶材的关键在于：

1、选择高纯、超细粉末作为原料；

2、采用热等静压法，实现材料的快速致密化，保证靶材的低孔隙率，且晶粒微小；

3、合金含量高、材料各向均质、各向同性，结构均匀；

4、可实现不同材质靶材之间的复合，极大的扩展了靶材的应用范围；

5、制备过程严格控制杂质元素的引入。

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