标配温度传感器，自动补偿由于温度变化而引起的误差
采用HEIDENHAIN高分辨率金质光栅，其热膨胀系数获得PTB认证
主要特征：
桥架固定，工作台移动的固定桥式结构，为整机提供了更稳定可靠的精度基础，并确保高速运行时，振动对精度的影响最小
陶瓷Z轴、全花岗岩结构，为计量室环境下的测量提供了稳定的高精度
中心驱动系统减少偏摆和扭转，Y向光栅安装于工作台的中央，阿贝误差小
Y向采用燕尾导轨结构，提高了机器的精度和重复性
柔性同步带系统，兼顾柔性啮合与刚性轴向传动的优点，确保高加速度时定位精确，从而提高运动的平稳性
Z向采用可调式气动平衡设计，提高了机器的动态性能，提升Z轴安全性
标配温度传感器，自动补偿由于温度变化而引起的误差
采用HEIDENHAIN高分辨率金质光栅，其热膨胀系数获得PTB认证
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