编号 项目 S48 32/HMT
1 流量规格 (0,200,300,500)mL/min
(30,50)L/min
2 调节阀类型 电磁调节阀
3 调节阀静止状态 常闭
4 安装角度 任意
5 流量控制范围 2%～100%
6 流量测量范围 0～100%
7 响应时间 2s（T98，设定值的±2% F.S.）
8 工作环境温度 5℃～50℃
9 精度保证温度 15℃～35℃
10 精度 ±1.0%F.S.
11 线性精度 ±0.5%F.S.
12 重复性 ±0.2%F.S.
13 工作压差 ～5L/min (50～300)kPa(D)
5L/min～10L/min (100～300)kPa(D)
30L/min～50L/min (150～300)kPa(D)
14 耐压 3MPa
15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s （He）
16 接触气体材料 316L,PTFE,Viton氟橡胶
17 管路接头 Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
18 供电电源 ±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA +24VDC(宽电压+11～+25V),
＜250mA(+24Vdc供电时)
19 设定信号 (0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
20 流量输出信号 (0～5)VDC 负载能力≤3mA
21 电气接头 D-SUB15,D-SUB9
22 重量(kg) 0.9