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三坐标测量仪的使用会因为其它因素的影响，从而导致仪器故障或者损坏。那哪些因素会对三次元造成损坏呢？
1.导轨受到污染。直接会出现直线度的误差比较大，出现气槽的堵塞现象，则会造成仪器的精准度下降，重复性能下降。
2.气浮块的堵塞。会出现浮起不够充分或者是不能浮起，分别会造成运动的阻力会增大，从而改变了它的动态性能；与导轨之间进行摩擦，从而损坏仪器。
3.影像测量仪的开关受到了腐蚀。开关会出现生锈和阻力增大的现象，这样的后果就是开关的失效，从而导致仪器在使用时失去平衡。
4.气缸受到腐蚀损坏。会出现气缸漏气或者是打不开的现象，这样的后果就是造成气缸的损坏，测座的严重损坏。
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