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在影像测量仪精密的校正中线性校正法使用较为广泛， 通常所使用的显微镜头其成像畸变小， 所以成像后图像尺寸与实际尺寸间存在线性关系， 然后设计算法可以求取对应的比例系数。
多项式非线性校正法线性校正的方法在测量仪器系统中得到较多的应用， 但是摄像机图象的几何畸变总是存在的， 对于广角镜头或者视野范围较大的显微镜头和远心镜头来说， 采用线性校正的方法无法修正桶形失真和枕形失真的非线性畸变因素对测量的影响。可用坐标间的多项式变换来表示该非线性变换。
为了有效地减少二次元，三次元测量误差，通常采用标准阵列的精密圆形模板或者标准间距的栅格模板。在进行校正时，为了精确地获取点阵图像坐标和世界坐标，通常采用数字图像方法，提取几何形心的图像数据，与对应的世界坐标对应，通过对应的数学模型计算获取校正系数。
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