5)基本校准的修正：
在下述情况下，改变基本校准是有必要的：
----测头顶端被磨损。
----新换的测头。
----特殊的用途。
在测量中，如果误差明显地超出给定范围，则应对测头的特性重新进行校准称为基本校准。通过输入6个校准值（1个零和5个厚度值），可重新校准测头。
a)在仪器关闭的状态下按住▼键再按ON键，先松开ON键再松开▼直到屏幕出现CAL并闪烁显示0.0um,即进入基本校准状态；
b)先校准零值。屏幕闪烁显示0.0um，测一下没有任何涂层的基体，然后按ZERO键，屏幕0.0um不再闪烁；
c)校仪器自带校准片，把50um的放在基体上，测一下，50um的厚度，测出来的数与校准片的值不符按▲ ▼调整到与校准片的值一样，（如：50um测出来是54um按▼调整到50um)然后按um/mil确认输入的值，屏幕数字不再闪烁，这时拿开50um,放100um校准片，方法同上，依次校准仪器自带的5个膜片，（50、100、250、500、1000um)
d)使用校准片，按厚度增加的顺序，一个厚度上可做多次。每个厚度应至少是上一个厚度的1.6倍以上，理想的情况是2倍。例如：50、100、500、1000um.最大值应该接近但低于测头的最大测量范围；
注意：每个厚度应至少是上一个厚度的1.6倍以上，否则视为基本校准失败，后面一个点必须大于500um
e)在输入6个校准值以后，测量一下没有涂层的基体，仪器自动关闭，新的校准值已存入仪器。当再次开机时，仪器将按新的校准值工作。