导轨采用整体花岗岩材质，保证三轴导轨热性能的稳定性
全封闭式环抱导轨结构，提供了更高的测量精度
21项机械几何误差补偿技术的运用，极大的提高了机器精度
三轴均采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的静压气浮式导轨，轴承跨距打，抗角摆能力强，阻力小，无磨损，运动更平稳
敞开式结构，多样化的测量配置方案，增强了灵活多变的测量体验；
有限元结构分析及优化设计为该系列保证了稳定，可靠的抗实效变形能力
型号 Micro575 Micro7106 Micro9128
示值误差(um) 1.8+2.5L/1000 2.2+3L/1000 2.8+3.3L/1000
深测误差（um） 1.8 2.2 2.8
外形尺寸(mm)
测量范围(mm) 500*700*500 700*1000*600 900*1200*800
最大载荷(kg) 0