探针轮廓仪（台阶仪） DEKATK150
集40多年的探针轮廓技术创新于一身，该系统在行业内的表现遥遥领先，以重现性最佳和标准扫描范围最大而著称。它提供各种各样的配置和附加选项，用于程序化测量、低探针力表征和细节分析
规格：
测试技术：探针轮廓技术
测试功能：二维表面轮廓测试
样品视场：640*480像素，USB；17 inc 平板显示器
探针传感器：低惯量传感器（LIS 3）
探针压力：使用LIS 3传感器：1至15 mg
使用N-lite传感器：0.03至15 mg
探针选项：探针曲率半径可选范围：50 nm至25 um;
高径比针尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
样品载物台：手动X/Y/@：100*100 mm, 360度旋转，可手动校平；
可选Y自动移动载物台，100 mm行程，1um重现性，0.5 um分辨率；
可选X-Y自动移动载物台，150 mm行程；
1um重现率，0.5 um 分辨率
计算机系统： 主机使用celeron或者semprom处理器
软件：Dektak软件
台阶检测软件
可选应力测量软件
可选三维Vision分析软件
可选缝合软件
减震装置：可选桌式震动隔离装置
可选台式震动隔离装置
性能
扫描长度范围 55mm(2.1英寸)
每次扫描数据点 最多12万数据点
最大样品厚度 高达90 mm (4英寸)，取决于配置
最大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)
台阶高度重现性 6埃
垂直范围：标准524um(0.02英寸)；可选1mm
垂直分辨率：最大1A（6.55um垂直范围下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
电源要求：
输入电压： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ