一、技术参数
行程范围：X轴------800 mm
Y轴------1000 mm
Z轴------600 mm
结构型式：活动桥式
传动方式：柔性齿同步带+预载荷高精度空气轴承
长度测量系统：开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm
机台：高精度花岗岩平台
使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m
温度变化 1℃/h
空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量：100 L/min – 120 L/min
整机尺寸：2.0m X 1.5 m X 2.7 m
机台承重：1000 kg
整机重量：2000kg
探针测量系统：
1．控制软件：SEREIN DMIS V2.0
2．操作方式：计算机自动控制＋微电脑操纵盒
3．测量不确定度（E）：（3.0+L/300）