特征 ★ 三轴优质铸铁框架 ★ 三轴滚动导轨 ★ Z轴花岗石软接触高精度滚动导轨 ★ 测头各种测量姿态保证测端球心对中 ★ 配备微型坐标测量挂架 ★ X轴双标尺伺服同步驱动 ★ Z轴支架铝合金结构 ★ 测量挂架与工作台可分离或duli ★ 测量系统与工作平台分离设计 ★ 温度补偿 技术规格型号 X(mm) Y(mm) Z(mm) 1 1 1 2 3-1.5-1 0 5-1.5-1 0 8-2-1.5 0 精度等级：A、B、C三级精度等级 单轴精度(um) 空间精度(um) R 1 1 自 到 A 3+3L/1000 5+5L/1000 10 B 5+5L/1000 8+8L/1000 15 C 8+8L/1000 15+15L/1000 20 分辨率0.001mm