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多晶硅的生产工艺主要由高纯石英（经高温焦碳还原）→工业硅（酸洗）→硅粉（加HCL）→SiHCL3（经过粗馏精馏）→高纯SiHCL3（和氢气反应CVD工艺）→高纯多晶硅。
精细化工
精细化工与人们的日常生活紧密联系在一起，它与粮食生产地位一样重要，关系到国家的安全，因此精细化工是中国的支柱产业之一，在新世纪之初，精细化工就被国家经贸委列入发展重点之一，把保证安全生产，作为精细化工行业重中之重。
主要产生气体：可燃气体、氨气、氯气的浓度，甲醇、丙酮。