超纯水系统：软水-UF前处理-RO-脱氧-EDI-POLISHING本超纯水生产系统采用多介质过滤器、活性炭过滤器作及保安过滤器作为前级处理，有效除去原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质，使经过处理后的原水符合反渗透的进水要求，然后进入程控反渗透装置去除水中的溶解性盐类物质、细菌、热源等，然后使用离子交换混床进行深度脱盐，使产水电阻率达到15～18.2MΩ.cm，后处理采用紫外线杀菌器和精密过滤器隔绝细菌的二次污染，产水可达到国家电子级用水的技术指标GB 1。
系统设置有自动和手动两种运行模式。自动程控装置采用日本欧姆龙PLC(可编程控制器)作为中心控制元件，通过多点多路水位传感器、动态压力控制器组合监测各部件的运行情况来实现系统的自动运行。设置了手动操作方式，可用于系统安装调试和维修时使用。