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上述两类传感器工作原理为：当指纹中的凸起部分置于传感电容像素电上时，电容会有增加，检测增加的电容来进行数据采集。传感器中的像素点为45平方微米，间隔为5微米，电容像素阵列的分辨率略高于5dpi。这类传感器基于一种的单-多晶硅三层金属CMOS工艺，并采用.5微米工艺进行设计。金属互连的第三层构成电容像素层，由氮化钛制成并覆盖着一层氮化硅，厚度仅为7埃米。这种硬金属电与抗磨涂敷层组合形成的传感器十分坚实耐用，使用寿命可以达到很多年。