X、Z轴压电陶瓷纳米台-上海纳动纳米位移技术有限公司

产品描述

PSWL40-080U系列经过优化设计，可提供110µm行程范围，同时保持其紧凑的外观。 该平台也可用于2轴版本XZ轴，也可用于带有X轴或Z轴的1轴版本。PS2L40-080U可与Z轴组合升级为XYZ产品，型号为PS3L40-080U-S。

闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。该产品可呆在一定的负载进行步进扫描动态使用。

由于其高性价比和高性能参数，该平台在光纤对准和激光写入应用中获得了极大的成功。

PSWL40-080U系列的元件由集成在带有内部杠杆传动装置的壳体中的执行器组成。 压电平台通过四个对角孔固定在基板上。纳米台可以通过两个对角螺孔安装在顶板上，由于杠杆传动在两个方向上均起作用，因此需要避免壳体和顶板之间的作用力，因为它们可能会损坏压电纳米位移平台。

产品特性

—高速响应，多轴定位

—700g承载重量

—亚纳米范围内的高分辨率

—XZ轴双向运动

选配功能

—可定制孔位及转接装置

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可提供XYZ版本

应用领域

—原子力显微镜、扫描探针显微镜

—测量、计量

—光学探针、光学扫描、光束对准

—微流体技术

                 结构原理                                    位移特性                                    典型应用

PSWL40-080U系列技术参数