X、Y轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司

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PK2L150-100U为定制型产品，专为3D微纳打印研发设计的，移动面设计为异形孔，便于安装专用液晶及激光器的安装，即使很高的负载重量，也可以进行高动态扫描及稳定的应用。

利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK2L150-100U位移台可提供佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭环响应。

PK2L150-100U压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于0.02％的精度和重复性。

PK2L150-100U压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。独特的安装内孔设计，便于客户使用球头微分头进行调节倾斜方向，其具有更高的结构稳定性。

产品特性

—XY位移100μm（闭环）

—中孔尺寸：120x100mm

—大承载30N

—高动态使用

—并联结构设计，具有更高的导向精度

选配功能

—可定制转接装置及中心孔径大小

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可选择XY轴版本（80μm）

应用领域

—3D打印技术

—超分辨率显微镜

—掩模、晶圆定位

—干涉测量、测量技术

—显微操纵

                 结构原理                                    堆叠形式                                      典型应用 

PK2L150-100U系列技术参数