青岛晨立炉体- 扩散炉炉体-加热器-立式炉体-开合炉体

一、炉体材料:
  炉丝：Φ8～Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。
     绝缘子:采用99瓷制作，碳化硅管用高脚，石英管用矮脚。
     保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。
     外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。
     热偶座：进口弹簧卡状固定座。

     把口环：陶瓷纤维把口环，既保温，又有一定机械强度。 
二、炉体参数:
      工作温度：   ≤1300℃
      恒温区长度： 500mm-1000mm
      炉体内径：   Φ90～Φ360 mm（3～12英寸）
  规范使用： 寿命可达20个月以上（1200℃）
  替代进口： 全方位配套
三、应用：
  青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、THERMCO，荷兰ASM，英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，可应用于处理3～12英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。