匀胶旋涂机(SPIN COATING)
产品型号:KW-4A型 单面匀胶机 KW-4A-D双面匀胶机
该设备具有以下功能:能够保证实方形基板的匀胶膜厚度均匀性达到±3%,且表面无环形涟漪出现;能够保障TFT阵列基板制备工艺技术的顺利开发,TFT阵列基板试验线的组建。(即适用于半导体、制版及表面涂覆等工艺,可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用)其销售市场为韩国,台湾,朝鲜,香港,美国(主要供应:美国HEADWAY公司 美国CHEMSOLS公司),及中国大陆
本机具有以下特点:
1、电机励磁和电枢分开供电。励磁用12伏直流稳压电源供电,电枢用运放控制IRF830调速,它比可控硅调速优越,故其转速在500—8000转/分范围内非常稳定。
2、本匀胶机有两档转速。在启动之后,先以低速运转,然后自动变到高速运转。两档速度及运行时间分别可调。
3、本匀胶机采用光电检测,数字电路测速,对电机的转速检测快速准确。电机稳速方面采用了光电隔离的精密负反馈电路,使整机在高达8000RPM以上转速时仍十分稳定,有力的保证了匀胶质量。
4、“吸片”采用电子开关控制电磁阀完成气路通断,这样适合流水线工艺,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,提高效率。
5、匀胶机定时采用可调定时电路控制,面板上调节Timer旋钮即可改变匀胶时间。
6、在安装结构上,采取了减震措施,因而匀胶机在运转时噪音很低。
7、电磁阀与电机运行有连锁功能,电磁阀未动作不能启动电机运行,本次匀胶电机未停不能进行下次匀胶,若运行中误按“CONTROL”键也不能停止吸气,即不会产生跑片。
由于采用了以上一系列措施,故本机具有很高的转速稳定性和快速启动性,可以保证涂覆表面均匀,并可通过调节转速调节涂覆厚度。
设定参数:
Speed A调速范围 500—2500转/分
Timer B匀胶时间 0—18秒
Speed A转速范围 800—8000转/分
Timer B匀胶时间 0—60秒
转速稳定度 ±1%
电源电压(二种) 220v/ 50Hz或110v /50Hz
电机功率 40W
稳定涂膜尺寸 Φ5—Φ100mm
双级真空吸气要求 ≥60升/分
匀胶机主机尺寸:220mm X 210mm X 160mm
包装外形尺寸:410mm X 410mm X 350mm
重量:7.5KG