全自动制绒酸洗综合设备

全自动制绒酸洗综合设备

1600片（125*125、156*156）/小时超大产能。

采最新全自动配液、补液技术，全面完善的防酸、防腐措施，保护 到机器每一个角落。

最新全自动补液技术。

独特的硅片干燥处理技术，保证硅片干燥不留任何水痕。

成熟的硅片干燥工艺，多种先进技术集于一身。

彩色大屏幕人机界面操作，方便参数设置及多工艺方式转换。

高速移载机械手采用松下伺服程序控制，具有高速，防压，自动归正，四点

稳定抓取，带钩抱篮等特点。