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真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,真空泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,真空泵公司,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。



真空泵卡住无法启动的处理方法

现在真空泵被广泛的应用于很多领域,使用寿命长,投资成本低等优点,对于产品性能要求比较高,这对于施工的技术要求提高了。下面咱们一起了解下关于真空泵卡住无法启动的处理方法有哪些吧。

真空泵使用过程中经常卡住,真空泵多少钱,为了避免这个问题的发生,真空泵水垢多了会卡住泵无法正常使用,还会造成机封和轴承的损坏。通过清理水垢,更换机封,轴承,阀板,调整间隙后该真空泵可以正常使用了,抽气能力也大大提高甚至超过刚买来时的性能。



真空泵干泵

国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,真空泵厂家,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。



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