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无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

无尘室在安装管道和线路的时候，如果需要焊接作业，应该准备好消防灭火设备和石棉板等，发生危险情况，可以及时处理。在安装管道和线路要严格安装规范进行施工，安装后还需要测试安装质量，一般是使用水压进行试验，如果不允许使用水压进行测试，可以采用气压进行测量，也应该做好安全防护工作。如果和原有管道进行连接，先要了解管道的特性，安装工作应该由的施工人员进行操作，并配备消防灭火器材。如果管道输送的是高纯度的气体和液体，严格按照规范进行施工外，还需要对管道进行清洗、吹扫后对纯度进行测试。

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净化车间室内装修规定1、工业生产净化车间的工程建筑围护界区和房屋装修，应取用密封性优良，且在温度和环境湿度转变的功效下形变小的原材料。净化车间内墙面和顶篷的表面，应整平、光滑、无缝隙、插口严实，无颗粒物。2、工业生产净化车间的工程建筑围护界区和房屋装修，应取用密封性优良，且在温度和环境湿度转变的功效下形变小的原材料。3、净化车间内墙面和顶篷的表面，应整平、光滑、无缝隙、插口严实，无细颗粒物掉下来，并应耐清理和耐腐蚀，墙面和地面、装修吊顶相接处制成弧型，踢脚不适合高于墙壁，当选用质轻原材料融断时，应选用防撞击对策。4、净化车间的地面应全1面性好、整平、耐磨损、耐碰撞、不容易堆积静电感应、易除灰清理，地面基础垫层应配筋图，湿冷地域应做防水解决。5、技术性隔层为质轻装修吊顶时，设定维修安全通道。工程建筑风管和送风管沟的内表面室内装修规范，应与全部送到风系统软件相一致并便于除灰。

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