气相沉积设备 气相沉积设备厂商 拉奇纳米

镀膜产品介绍

磁性元件/小金属元件

1、铁氧体磁芯

2、钕铁硼

3、小金属零部件（小弹片、小弹簧、小钢片）

作用：绝缘、防锈、卷线保护

Parylene超薄透明的涂覆为磁体和铁氧磁芯提供优良的介电特性。与工业标准涂层相比，电浆辅助化学气相沉积设备，它的介电常数和损耗因子较低，而介电强度较高。粘结钕铁硼元件非常脆弱，Parylene涂层的另一个优点是提高强度。各种金属、磁性、钕铁硼材料容易受大气湿度腐蚀，而Parylene的透水性极低，能够保护元件免受腐蚀。

真空镀膜机是由真空炉体，真空泵，气相沉积设备，控制柜，真空计，冷却系统等部件组成，真空驴体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

根据工艺要求选择不同规格及类型真空镀膜机，其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。

真空镀膜机的操作注意事项

4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固，角部有无弯曲翘曲等变形情况；

5、检查水压、气压是否正常；水、油、气是否有漏滴现象；

6、设备中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；

7、设备中途停气时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，气相沉积设备厂，让维持泵继续运行；

8、设备中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵；

9、扩散泵加热时，避免身体接触扩散泵加热炉、以免；

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