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- 2022-10-05 13:50:41
气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念?
气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,气体质量控制器厂家,MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差小于0.1 MPa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用MFC时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态,气体质量控制器, 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。
气体质量流量控制器流速和流量之间的关系
流量通常分为体积流量、质量流量和重量流量三种:
体积流量的公式为Q=VS,Q代表气体的体积流量(m/s),V代表气体的平均流速(m/s),S代表气路管道的横截面积(㎡)。
质量流量则是M=ρQ=ρVS,M代表气体的质量流量(kg/s),ρ代表气体的密度(kg/m),Q代表气体的体积流量(m/s)。
重量流量则是G=γQ=ρgVS=gM,G代表气体的重量流量(kgf/s),气体质量控制器报价,γ代表气体的介质重度(N/㎡),M代表气体的质量流量(kg/s)。
压力对于气体质量流量控制器影响有哪些?
市面上的热式气体质量流量控制器的耐压主要分为:10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要为差压式(也称节流式) 流量计是基于流体流动的节流原理,利用流体流经节流装置时产生的压力差而实现流量测量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要为热式流量计,热式流量计采用热扩散原理,气体质量控制器哪家好,热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。热式流量计有两个温度传感器被置于介质中时,其中一个传感器被加热到环境温度以上的温度,另一个温度传感器用于感应介质温度。