半导体薄膜 黑龙江半导体薄膜 半导体XRD薄膜测试

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半导体薄膜单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


X射线衍射原理及应用介绍:

特征X射线及其衍射 X射线是一种波长很短(约为20~0.06 nm)的电磁波,能穿透一定厚度的物质,并能使荧光物质发光、照相乳胶感光、i气体电离。在用电子束轰击金属“靶”产生的X射线中,包含与靶中各种元素对应的具有特定波长的X射线,称为特征(或标识)X射线。考虑到X射线的波长和晶体内部原子间的距离(10^(-8)cm)相近,黑龙江半导体薄膜,1912年德国物理学家劳厄(M.von Laue)提出一个重要的科学预见:晶体可以作为X射线的空间衍射光栅,即当一束X射线通过晶体时将会发生衍射;衍射波叠加的结果使射线的强度在某些方向上增强、而在其它方向上减弱;分析在照相底片上获得的衍射花样,半导体薄膜价格,便可确定晶体结构。这一预见随后为实验所验证。




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1913年英国物理学家布拉格父子(W.H.Bragg,W.L.Bragg)在劳厄发现的基础上,不仅成功地测定了NaCl、KCl等的晶体结构,并提出了作为晶体衍射基础的公式——布拉格定律:

2d sinθ=nλ,式中,λ为X射线的波长,衍射的级数n为任何正整数。

当X射线以掠角θ(入射角的余角,又称为布拉格角)入射到某一具有d点阵平面间距的原子面上时,在满足布拉格方程时,会在反射方向上获得一组因叠加而加强的衍射线。

物质有没有固定的熔点、沸点,并没有验证是一个纯净物、包括晶体的独有的予以可区别其它物质的测试属性。晶体的熔点、沸点是相对比较固定,熔程也是比较窄,但拥有这一熔点、沸点的物质未必一个;有些非晶体的纯净物,其熔点沸点也会在一定数值、熔程也会很窄。总之,可能在二十世纪初期还可以这样做,但现在更科学的大型精密仪器分析法出现后,就不被认同了。


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能谱仪,是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。EDS的分析结果里面会有原子比(atomic%)和元素比(也就是质量比,weight%)的数据,这里要提醒大家注意一点,因为EDS分析并没有那么,半导体薄膜哪里有,所以尽管分析报告的结果会有两位小数,但只取一位小数就够了。

  X射线光电子能谱(XPS )是一种表面分析方法,提供的是样品表面的元素含量与形态,而不是样品整体的成分。其信息深度约为3-5nm。原则上可以测定元素周期表上除氢、氦以外的所有元素。




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