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- 2022-10-10 01:58:00
广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修
分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。
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扩散泵工作时，从喷塔高速喷射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池，并从油池边缘向中心流动，在流动的过程中，油的温度逐渐升高，油中沸点比较低的小分子组分，在靠近油池边缘的地方就会汽化，而沸点比较高的大分子组分，则会在靠近油池中心的地方汽化。一般的扩散泵喷塔各级喷嘴之间是互相联通的，而安捷伦扩散泵的喷塔各级喷嘴彼此独立，特别是喷塔，只有沸点高的大分子油蒸汽才会从这里喷出，这一特点不仅扩散泵极限真空很好，而且由于高沸点的泵油更不容易二次挥发，使得泵的返油率很低。
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注意监测前级真空分子泵是一种高真空泵，它必须配合合适的并且性能良好的前级泵才可以正常工作；除了在选型时尽量选择推荐的前级泵之外，分子泵使用时也要注意监测其排气口的压力，避免因前级泵性能下降而使分子泵排气压力过高，造成负荷过大，泵温过高等。这些情况一定要加轴承吹扫分子泵所抽的气体如果含有较多的可凝性气体（如水汽，等），高浓度的氧气、腐蚀性气体，广州Agilent分子泵维修，或者粉尘等，需要增配吹扫阀（Purge Valve），广州Agilent分子泵维修，工作过程中利用吹扫气（一般为干燥氮气）持续对轴承进行吹扫，以达到隔离污染物，保护轴承的目的。
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当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mT 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右（安捷伦分子泵的大允许温度为 120 度）。
另外，KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（ 5mT 时，低大约40度）。
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长期存放不用不是的秘诀有客户会认为，Agilent分子泵维修服务，长时间停泵不用对分子泵的损耗会比较小。但是，分子泵长时间停泵后，在表面张力和重力的作用下，轴承内部的润滑脂可能会出现收缩成团、分布不均匀等现象，反而会影响分子泵的寿命。为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀，安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月，可以使用软启动功能启动分子泵，转速以阶梯方式缓慢加速，使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月，建议送回维修中心让分子泵在的检测平台上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合轴承。
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StarCell 的设计使其成为能抽除大量惰性气体的离子泵，该泵可以以速度和容量处理、气和氦气等惰性气体。非蒸散型吸气剂技术（NEG）是SAES集团于上世纪七十年发的。非蒸散型吸气剂对氢气、水蒸气、氮气、氧气等活性气体有很大的抽速，其通常与溅射离子泵、涡轮分子泵或者低温泵等其他真空泵结合使用，以改善系统的极限真空或者减少抽气时间。
涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片，如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成，即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用，能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速，有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制，如果气体分子运动速度较大，泵抽真空就比较困难。