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- 北京晓韬科技有限公司
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- 发布时间
- 2022-10-10 14:27:47
应用行业
可广泛应用于气体浓度传感器、校准、测试研究,在新材料及特种材料的研究及制备方面,多配套于CVD使用,配气稀释装置厂家,等离子刻蚀、催化评价、脱硫脱销、气体焊接等设备中也大量配套使用,大量在环保行业中干扰实验——动态混合矩阵实验法中使用,配气稀释装置,主要是对气源CO2、SO2、N2进行动态混合配比,为试验提供一定流量范围或浓度范围的混合气体。
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右侧部分为气路原理
用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成,并可通过手动方式,控制内部截止阀(V1-V6的开关)
INLET1 - 设备所用背景气,一般为空气或氮气。
INLET2 – 原料气,用户可通过列表选择多种气体种类。
初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体,系统自动维持压力在0.5MPa以下,在使用二级配气条件下,初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下,用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。
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散热风扇
开机自动启动。
确保风扇通道不被卡主,造成无法转动。
外调零接口:
用于模拟产品的零点微调,数字产品此接口无需连接。
如零点漂移超出2%F.S.,请卸下上机盖,使用MFC自身调零方式进行调零。
上机盖拆卸螺钉:
用户可通过拆卸后面上方两侧对称螺钉卸下上机盖,从而进行粗调零等工作。
拆卸时如有疑问请致电厂商技术支持。
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