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2022-10-14 12:29:08
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洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染(范畴谓之)。人是污染源的发源地:人体每分钟散发10万个粒子(粒径≥0.5μm)。每天脱落6~13克表皮细胞,培养箱检测报价,一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80%。



洁净室检测的洁净度

主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。

非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越显著,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,培养箱检测,是主要关注的气流测试项目。

换气次数:根据洁净室总风量除以法净室的容积求得




洁净室检测结果评定

1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限,即A≤级别界限,培养箱检测多少钱,则判符合规定。(采样点gt;9个)

2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限,则判符合规定。(采样点≤9个)

3.凡是1、2规定不相符合,则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁净级别,≥0.5um:2.83L/次,≥5um:2.83L/次



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