XRD掠入射（GIXRD）检测 半导体研究所

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xrd原理

XRD的基本原理：X射线是原子内层电子在高速运动电子的轰击下跃迁而产生的光辐射，主要有连续X射线和特征X射线两种。

XRD 即X-ray diffraction 的缩写，X射线衍射，通过对材料进行X射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。

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在XRD中，峰强比是什么意思

XRD衍射峰是物质各个晶体衍射面对X射线的散射，峰强度反映晶体各个衍射面的晶面情况，强度越高，则沿该衍射面的结晶性越好。所以峰强比实质是反映晶体沿各个方向（如100、010、001）生长情况。


什么是xrd分析

研究X射线波长和一般晶体晶格参数发现，两者的尺寸是数值相当或比较接近，XRD掠入射（GIXRD）检测机构，从而有科学家断言，晶体晶格是X射线发生衍射现象的天然栅栏！后来果然得到了验证。晶体是这样；非晶体的物质没有这种有规律的格子排列格局，当然就不能获得X射线衍射现象了。

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EDS，XRD和XPS进行成分分析的相同点和不同点是什么

能谱仪，是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。EDS的分析结果里面会有原子比（atomic%）和元素比（也就是质量比，weight%）的数据，这里要提醒大家注意一点，因为EDS分析并没有那么，所以尽管分析报告的结果会有两位小数，但只取一位小数就够了。

　　X射线光电子能谱(XPS )是一种表面分析方法，提供的是样品表面的元素含量与形态，而不是样品整体的成分。其信息深度约为3-5nm。原则上可以测定元素周期表上除氢、氦以外的所有元素。

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