通用派瑞林涂层 派瑞林 菱威纳米

Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备的Parylene涂层介电常数也低，东莞派瑞林加工，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。

　　派瑞林涂层能耐酸碱和，东莞派瑞林防老化涂层，对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔能力，同时，派瑞林涂层很薄（几微米甚至可以做到几百纳米），对传感器的灵敏度影响很小，目前被各类传感器作为材料。

当 Parylene单体在真空里汽相沉积时，它会产生真正均匀的涂层。它不像传统液体涂层，Parylene 涂覆不会产生外溢和凹陷 。蒸气涂层 ****无小孔，能够渗透和涂覆非常复杂的几何图形的物体。标准的掩膜技术能够使那些不要涂覆的部分不被涂覆，更有甚者，Parylene产品能在相对较低的温度下涂覆，减少了伤害的危险，并且涂层的厚度也极易控制，能够在 1-100um的厚度里可调。

各个腔室良好的工艺结构设计又保证了Parylene膜的均匀性、 膜的质量、成膜的速率、材料的利用率等等。当然膜的质量和Parylene原料的纯净度、质量也有密切的关联。

随着信息产业的不断发展，派瑞林，磁性元件越来越趋向于小型化，通用派瑞林涂层，3-5mm的软磁芯、2-3mm的稀土永磁材料，甚至尺寸更小的磁材都不断被应用，小型超小型磁材的应用，对磁材的防护提出了新的要求。百腾科技（苏州）有限公司为广大客户提供**透明的派瑞林涂层加工。经派瑞林（Parylene）涂敷后的磁性材料、微电机转子具有抗化学腐蚀能力，生物相容性好，涂层光滑，有润滑性，涂层厚度可以控制在1至100微米之间，耐电压1500-2000V甚至更高的电压。

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