半导体XRD研究所 XRD摇摆曲线检测测试

XRD摇摆曲线检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，山西XRD摇摆曲线检测，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

小角衍射的特点：

（1）小角X射线衍射具有和常规XRD的功能，可以确定物质的晶相，结晶度，XRD摇摆曲线检测测试，晶畴尺寸，取向度等

（2）通过对入射X射线的角度的控制来减少照射到衬底中的X射线，从而用来消除或减少衬底的影响

（3）可以探测多层膜的层数、厚度和表面粗糙度等

（4）小角X射线衍射对几何光路的要求比常规X射线衍射仪的几何光路要求要严得多。

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1923年，康普顿报道了当X射线用几乎与样品表面平行的小角度入射到理想光滑平整的样品表面上时，能够出现镜面反射的特征。入射X射线在样品表面发生全反射的前提是入射角小于或等于临界角αi（入射角）≤αc（αc临界角）。当发生全反射时，由于X射线被全反射，因此探测到的信息几乎全部是样品表面薄层的信息。在对衬底上的薄膜进行分析时，全反射法可以避免来自衬底的干扰信息。

掠入射X射线衍射(GIXRD)是一种让X射线略过样品表面的技术，这种技术能够更真实地表征出薄膜（特别是共辄聚合物薄膜)的微结构。测试光是平行光，相对于常规的衍射光来说能量较小，因此掠入射测试XRD的谱图峰强相对较弱。但是平行光可以更好的关注薄膜表面的信息，也不容易测到基底，因此掠入射XRD专门用于测试薄膜样品。薄膜尺寸没有特别要求，但是需要测试面平整光洁，不要有遮挡物，这样测试结果才真实可信。

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X射线衍射原理及应用介绍：

特征X射线及其衍射 X射线是一种波长很短(约为20～0.06 nm)的电磁波，能穿透一定厚度的物质，并能使荧光物质发光、照相乳胶感光、i气体电离。在用电子束轰击金属“靶”产生的X射线中，包含与靶中各种元素对应的具有特定波长的X射线，称为特征（或标识）X射线。考虑到X射线的波长和晶体内部原子间的距离(10^(-8)cm)相近，1912年德国物理学家劳厄(M.von Laue)提出一个重要的科学预见：晶体可以作为X射线的空间衍射光栅，即当一束X射线通过晶体时将会发生衍射；衍射波叠加的结果使射线的强度在某些方向上增强、而在其它方向上减弱；分析在照相底片上获得的衍射花样，便可确定晶体结构。这一预见随后为实验所验证。

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