气体热式质量流量计 晓韬科技有限公司 气体热式质量流量计

气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念?

气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa， 若压差小于0.1 MPa， 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa， 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用MFC时， 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态， 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内， 而且压差要相持续稳定。

使用气体质量流量控制器注意事项

1.怕粉尘，气体热式质量流量计价格， 若粉尘进到气体质量流量控制器内部会阻塞传感器和分流器， 导致数据误差， 所以建议在MFC进气口前加装过滤装置;

2.怕液体和油渍进到MFC， 一旦有液体进入到MFC内部会导致无法控制，所以建议在MFC进气口前端还要加装干燥装置，气体热式质量流量计哪家好， 假如MFC的出口接有液体罐， 也要在MFC出口再加上单向阀， 避免液体流回;

3.怕应用湿冷的腐蚀性气体， 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈， 导致MFC通道毁坏， 因而在应用腐蚀性气体前， 要对气体和MFC管路系统开展烘干解决;，并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性，还要使用惰性气体对管路进行吹扫，然后再通腐蚀性气体，等MFC工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路，保证管路中不会残存腐蚀性气体。

4.怕在应用强腐蚀性、有毒有害及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作， 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。

5.使用MFC前还需要将MFC进行通电预热，保证MFC在不通气时，瞬时流量处于0的位置，如果不通气时，瞬时流量显示有一定的数值，气体热式质量流量计，表示传感器出现“零漂”现象，可以先对MFC进行调零处理，否则将影响MFC的精度。

气体质量流量控制器应用领域

气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

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