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- 发布时间
- 2022-11-03 01:33:55
考夫曼离子源是应用较早的离子源。属于栅格式离子源。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体,让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来。这种离子源产生的离子方向性强,离子能量带宽集中,paco派瑞林防腐涂层,可广泛应用于真空镀膜中。缺点是阴极(往往是钨丝)在反应气体中很快就烧掉了,另外就是离子流量有极限,对需要大离子流量的用户可能不适和。
霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,防尘派瑞林镀膜工程,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。
磁感应测厚仪,其使用永磁体作为磁场源,利用霍尔效应发生器或磁动电阻器来感测磁体磁极处的磁通密度。
电磁感应测厚仪使用交变磁场,采用缠绕有细线圈的柔软铁磁棒来产生磁场。另一根线圈则用于检测磁通量的变化。
磁/电磁感应测厚仪可以有效测量磁探针表面附近的钢表面上的磁通量密度变化。探头表面的磁通密度的大小与钢基板的距离直接相关。因此,通过测量磁通密度,就可以确定涂层厚度。